精密加工工藝是指加工精度和表面清潔度高于相應加工方法的各種加工工藝。精密加工工藝包括精密切割加工(如鉆孔、精密切割、寬刃刨削等。)和高光潔度和高精度磨削。精密加工精度一般為10~0.1μm，公差等級大于IT5，表面粗糙度Ra小于0.1μm。
精密切割加工依賴于精度高、剛性好的機床和精細刀具切割速度高或極低、切割深度小、進給量小，可顯著提高零件的加工精度。由于切割過程殘留面積小，限度地消除切割力、切割熱、振動等不利影響，可有效去除上道工序留下的表面變質層，加工后表面基本無殘余拉應力，粗糙度大大降低，大大提高了加工表面質量。
高光潔度和高精度磨削也要求機床具有高精度和剛度。磨削過程是利用精細修整的砂輪，在每個磨粒上產生多個等高的微切割刃。在適當的磨削壓力下，從工件表面切下細切屑，在微切割刃處于微餛飩狀態時，從而獲得高加工精度和良好的物理機械性能。綜上所述，精密加工工藝可以全面提高工件的加工精度和表面質量。
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